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SENTECH SI 500 NanoMes 激光反射干涉式終點探測器,也可用于刻蝕深度測量

提供服務:半導體
產品名稱:
激光反射干涉式終點探測器,也可用于刻蝕深度測量
產品型號:
SI 500 NanoMes
廠商名稱:
SENTECH
產品屬性:
選件
商品描述:
NanoMES提供在線、實時測量,測量干法刻蝕中刻蝕深度、刻蝕速率、膜厚。也提供終點探測功能,通過測量表面反射率和薄膜干涉來獲得測量數據。