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SENTECH SE 800-5A 各向異性軟件

提供服務:半導體
產品名稱:
各向異性軟件
產品型號:
SE 800-5A
廠商名稱:
SENTECH
產品屬性:
選件
商品描述:
SpectraRay 光譜橢偏儀各向異性樣品分析軟件
• 先進的光學模型建模功能,針對各向異性薄膜
• 覆蓋SENTECH橢偏儀產品全部光譜范圍
• 單軸晶體和雙軸晶體薄膜類型,最多可選擇由三個方向描述的電介質函數 nx(λ), ny(λ), nz(λ) or εx, εy, εz
• 任意‘各向同性’ 材料彌散關系都可應用(包括oscillators, 等效中間值近似等)
• 可擬合3個 Euler角α, β, γ,用于描述晶體坐標系統。
• 能夠分析各向同性和各向異性材料組成的多層膜系統
• 操作輕松,得宜于SENTECH功能強大的軟件包SpectraRay II。
  不同于各向同性材料,各向異性材料的光學參數取決于光線傳播路徑相對材料軸的方位。這說明,各向異性材料性質在指定波長需要多于一個的折射率數據描述。各向異性性質能夠通過橢偏儀多入射角度測量或樣品沿z軸旋轉測量進行分析。
  SpectraRay各向異性材料分析軟件能夠對任何入射角度、樣品旋轉位置和起偏器角度計算各向異性樣品的性質。
  SpectraRay 各向異性材料分析軟件支持樣品在任意方位下的橢偏數據分析(通常稱為一般性橢偏分析)。
下列復雜彌散關系包含在SpectraRay II軟件包中:
• 單州晶體材料類型 nxy, nz (εxy, εz)
• 雙軸晶體材料類型 nx, ny, nz (εx, εy, εz) ,數據包含3個 Euler角α, β, γ
  SpectraRay II對各向異性分析有著出色表現,以輕松的軟件操作和建模為軟件設計理念。