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SENTECH SE800DUV DUV/VIS/NIR光譜橢偏儀

sentech SE800DUV DUV/VIS/NIR光譜橢偏儀

光譜范圍: 190 nm - 950 nm

  SE 800 DUV 針對要求苛刻的應用而設計,如玻璃上的極薄透明膜,平板印刷中的光刻膠材料和減反射膜,透明或吸收基底上的多層膜,高級微電子應用比如SOI,ONOPO和高k值材料。各向異性材料和非均勻樣品也能夠被分析。

  SE 800DUV 是基于在紫外-可見光-近紅外波段的快速二極管陣列探測器高性能光譜橢偏儀,能夠快速獲得數據并在全波段解析,配置了高精度延遲器和電腦控制起偏器。SE 800DUV基于步進掃描分析操作原理。分析器由光柵和光電二極管陣列組成。

  SE 800DUV的深紫外概念被設計針對低散射光線,對低反射樣品也有很高靈敏度。

主要應用
  ·測量單層膜或多層膜的厚度和折射率。
  ·測量化合物薄膜,比如SiOxNy, AlGaN
  ·在紫外-可見光-近紅外波段測量材料的光學性質
  ·測量指數梯度
  ·測量膜表面和界面間粗糙程度
  ·確定材料成分
  ·分析較厚的膜,厚度范圍可到30微米
  ·適合測量In攙雜半導體材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)

選項
  ·紫外光譜擴展選項,280 - 850 nm
  ·近紅外光譜擴展選項,1700 - 2300 nm
  ·電腦控制高性能消色差補償器,針對紫外-可見光波段
  ·電腦控制起偏器
  ·電腦控制自動角度計, 40º-90º, 精度0.01º
  ·手動x-y載物臺,150 mm行程
  ·電機驅動x-y載物臺,行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌圖掃描軟件
  ·透射測量樣品夾具
  ·攝象頭選項,用于樣品校準和表面監測
  ·液體膜測量單元
  ·反射式膜厚儀 FTPadvanced, 光斑直徑80 mm
  ·微細光斑選項
  ·自動對覺選項,結合地貌圖掃描選項
  ·SENTECH 標準樣片
  ·附加許可,使 SpectrRay II 軟件可以用于多臺電腦

光譜橢偏儀軟件SpectraRay II
  SpectraRay II 操作軟件基于windows系統,包括全面的的建模、仿真和擬合軟件包,操作向導,自動輸出結果,單鍵操作,使軟件界面友好并使橢偏儀操作簡易。

  通過操作向導,能夠使操作變得簡單。操作向導能夠指導用戶完成標準測量過程:測量數據、驚醒擬合并輸出結果。 操作向導能夠將復雜的測量、擬合設置變德簡易。
  SpectraRay II 軟件也能夠進行反射光譜測量和透射光譜測量。

  報告向導能夠自動完成將測量結果輸出到一個web文件。