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股票代碼:002819

股票代碼

SZ002819

400-650-5566

SENTECH SE800 UV/VIS光譜橢偏儀

sentech SE800 UV/VIS光譜橢偏儀
提供服務:半導體
產品名稱:
UV/VIS光譜橢偏儀
產品型號:
SE800
廠商名稱:
SENTECH
產品屬性:
主機
商品描述:
主要用于玻璃上透明薄膜,發光材料和半導體有機物,吸收和透明襯底上多層膜,玻璃上防反射膜,微電子應用:SOI/高K/低K.各項異性材料測量。

光譜范圍:350 nm - 850 nm
可選: 280 nm - 850 nm


  SE 800是采用快速二極管陣列探測器的高性能光譜橢偏儀,在紫外/可見光范圍內兼具快速數據采集速度和全光譜范圍分辨率。

  光譜橢偏儀SE 800適用于復雜應用,比如測量玻璃上的透明薄膜,發光體和半導體聚合物薄膜,吸收/透明基底上的多層膜,窗材料的減反射膜,先進的微電子應用比如SOI,高k值和低k值材料。各向異性樣品和非均勻樣品也能夠被分析。

光譜橢偏儀 SE 800 特征
  ·步進掃描分析器工作方式,對較低光強也同樣有效
  ·消色差補償器在整個0-360度范圍內都可極準確和精確地測量出橢偏角度。能夠分析偏振因數和補償退偏效應
  ·起偏器跟蹤技術可以為每一種應用都提供最高的測量精度
  ·自動對準鏡用于樣品傾斜度調節,顯微鏡用于樣品高度調節,能夠提供最高的樣品對準精度
  ·高穩定性的操作,所有硬件操作由其內置的微控制器分別控制,基于Windows XP系統的最新型電腦
  ·SpectraRay II - 功能強大的光譜橢偏儀軟件

主要應用
  ·測量單層膜或多層膜的厚度和折射率
  ·在紫外-可見光波段測量材料的光學性質
  ·測量厚度梯度
  ·測量膜表面和界面間的粗糙程度
  ·確定材料成分
  ·分析薄金屬膜
  ·分析各向異性材料和薄膜
  ·CER - 結合橢偏測量和反射測量
  ·CET - 結合橢偏測量和透射測量

選項
  ·紫外擴展選項 280 - 850 nm
  ·計算機控制角度計,40º-90º, 可選 20º-90º ,精度0.01º
  ·手動x-y載物臺,150 mm行程
  ·電機驅動x-y載物臺,行程50 mm - 200 mm
  ·MWAFER- SENTECH地貌圖掃描軟件
  ·透射測量樣品夾具
  ·攝象頭選項,用于樣品對準和表面檢測
  ·液體膜測量單元
  ·反射式膜厚儀FTPadvanced, 光斑直徑80微米
  ·微細光斑選項,光斑直徑200微米,可選: 100微米
  ·自動對焦選項,結合地貌圖掃描選項
  ·SENTECH標準樣片
  ·附加許可,使SpectrRay II軟件可以用于多臺電腦

光譜橢偏儀軟件SpectraRay II
  基于windows系統的 SpectraRay II 操作軟件包括一個全面的的建模、模擬和擬合軟件包,操作向導,自動輸出結果,單鍵操作,使得軟件界面友好并且橢偏儀操作簡易。

  通過運行操作向導,能夠使操作變的簡單。操作向導能夠指導用戶完成標準的測量程序:測量數據,擬合,輸出結果。操作向導能夠將復雜的測量和擬合的設置變的簡易。
  SpectraRay II 軟件也能夠進行反射測量和透射測量。

  報告向導能夠自動完成將測量結果輸出到一個web文件。