深圳證券交易所

股票代碼:002819

股票代碼

SZ002819

400-650-5566

SENTECH SE500adv 組合式橢偏儀

sentech SE500adv 組合式橢偏儀
迄今為止最簡單易用的橢偏儀
• SE 500adv結合橢偏測量和反射測量
• 可消除橢偏測量對透明膜厚度的周期不確定性
• 膜厚測量范圍可擴展至25000 nm.
• 激光波長632.8 nm
• 反射計光譜范圍450 nm-920 nm
• 光斑直徑80 μm
• 150 mm (z-tilt)樣品臺
• 角度計,可變入射角度,步進5°
• LAN連接電腦

  CER組合橢偏儀SE 500advanced可作為激光橢偏儀,CER組合式橢偏儀或反射膜厚儀FTPadvanced操作。比常規激光橢偏儀有更好的適應性。

作為橢偏儀操作
  單角度和多角度測量,可測量最多三層膜的厚度和光學參數,測量波長632.8nm,有最高的測量精度。
作為反射式膜厚儀FTPadvanced操作
  白光正入射測量,可測量透明膜或弱吸收薄膜,厚度最大可達25μm。配置更先進的軟件FTPexpert后能夠測量多層膜。
作為CER組合橢偏儀操作
  解決了透明膜的周期不確定性問題,并由于確定的膜厚周期,折射率測量精度顯著增加。可測量透明膜的Cauchy系數。

技術指標:

Ψ,Δ精度,90°位置透射測量:

δ(Ψ)=0.002°, δ(Δ)=0.002°

長時穩定性:

男女黄段视频高清δ(Ψ)=±0.01°, δ(Δ)=±0.1°

膜厚精度:

0.1 Å for 100 nm SiO2 on Si

折射率精度:

男女黄段视频高清5×10-4 for 100 nm SiO2 on Si


精度定義為30次測量的標準差
長時穩定性為90°位置時24小時內測量的差值

選項
• 手動x-y樣品臺,行程50 mm
• Mapping地貌圖掃描 (x-y, 最大200 mm, 真空吸附)
• 攝像選項,用于樣品校準和表面監視
• 30 μm微細光斑
• 第二激光波長1550
• 自動對焦
• SIMULATION軟件