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股票代碼:002819

股票代碼

SZ002819

400-650-5566

FEMTO VITA-E 等離子清洗機

femto VITA-E 等離子清洗機
提供服務:半導體
產品名稱:
等離子清洗機
產品型號:
VITA-E
廠商名稱:
FEMTO
產品屬性:
主機
商品描述:
VITA系列垂直腔體等離子灰化刻蝕系統,可適用于各類半導體器件制程中的去膠灰化工藝,工藝效果穩定,設備可靠性高。
KEY FEATURES
? Etching, Ashing, De-oxidation System
? Multi-generator for High Density Plasma

SPECIFICATIONS
? High Density Plasma Etching Mode
? 4", 6", 8" Substrate Loading
? Single or Multi LF/RF Generator
? Up to 8 Process Gas Channels
? Integration with Ultrasonic Source

APPLICATIONS
? De-oxidation for Electronic Packaging Industry
? Plasma Annealing for Metal Science