深圳證券交易所

股票代碼:002819

股票代碼

SZ002819

400-650-5566

FEMTO Plasma WideFlux-S 等離子表面處理系統

femto Plasma WideFlux-S 等離子表面處理系統
提供服務:半導體
產品名稱:
等離子表面處理系統
產品型號:
Plasma WideFlux-S
廠商名稱:
FEMTO
產品屬性:
主機
商品描述:
Plasma WideFlux-S 等離子表面處理系統
Plasma WideFlux-S 等離子表面處理系統 產品規格

等離子類型:Line 200mm
主要氣體:氮氣(N2)
混合氣體:N2+O2, N2+CDA, N2+Ar
電 源:LF 30kHZ,2kW
樣品臺:Y-Motion control
操作界面:清晰觸摸屏
選配項:X-Z motion