深圳證券交易所

股票代碼:002819

股票代碼

SZ002819

400-650-5566

FEMTO CUTE-MP 等離子表面處理系統

femto CUTE-MP 等離子表面處理系統
提供服務:半導體
產品名稱:
等離子表面處理系統
產品型號:
CUTE-MP
廠商名稱:
FEMTO
產品屬性:
主機
商品描述:
CUTE-MP 等離子表面處理系統
CUTE-MP 等離子表面處理系統 產品規格

真空室:Dia. 108mm × L. 250mm
氣 路:標準一路氣體(最多3路氣體,MFC)
電 源:50kHz,100W
操作界面:全自動&手動操作(觸摸屏模式)
壓力監測:大氣壓~ 1×10-3 Torr
選配項:石英腔體/ Dia. 80mm × L. 250mm
    電源功率升級(最大300W)
    射頻電源(13.56MHz,最高300W,包括水冷)