深圳證券交易所

股票代碼:002819

股票代碼

SZ002819

400-650-5566

FEMTO COVANCE-MP 等離子表面處理系統

femto COVANCE-MP 等離子表面處理系統
COVANCE-MP 等離子表面處理系統 產品規格

真空室:Dia. 150mm × L. 320mm
氣 路:標準一路氣體(最多3路氣體,MFC)
電 源:50kHz,200W
操作界面:全自動&手動操作(觸摸屏模式)
壓力監測:大氣壓~ 1×10-3 Torr
選配項:石英腔體/ Dia. 150mm × D. 350mm
    電源功率升級(最大300W)
    射頻電源(13.56MHz,最高300W,包括水冷)